本發(fā)明公開了一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法及系統(tǒng),屬于危險(xiǎn)廢物處置技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括以下步驟:S1、加熱:在催化劑的存在下,將待處理的廢硫酸加熱至25?90℃,加熱1?2h,制得稀硫酸;S2、濃縮:將步驟S1制得的稀硫酸進(jìn)行濃縮,濃縮溫度為110?160℃,濃縮4?8h,制得濃硫酸;S3、精餾:將步驟S2制得的濃硫酸進(jìn)行精餾,精餾2?4h,制得高純硫酸。該回收利用方法及系統(tǒng)不僅可以減少廢硫酸在排放過程中對環(huán)境造成污染的可能性,而且能夠通過該方法,去除廢硫酸中的過氧化氫、其他微量陰離子雜質(zhì)和金屬離子雜質(zhì),并且不帶入其他雜質(zhì),制得高純度的硫酸,該硫酸可作為化學(xué)試劑使用,從而減少資源浪費(fèi)。
聲明:
“一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)