本發(fā)明涉及薄膜分離技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種濕法腐蝕用裝置,具體公開了一種具有廢氣吸收功能的反應(yīng)裝置及其使用方法、應(yīng)用,該裝置包括反應(yīng)容器和廢氣處理裝置,所述廢氣處理裝置所述廢氣處理裝置包括吸收物料容器和封閉罩,所述反應(yīng)容器位于吸收物料容器內(nèi),所述反應(yīng)容器與吸收物料容器之間設(shè)有封閉罩,所述反應(yīng)容器封閉在所述封閉罩內(nèi),所述封閉罩的下部設(shè)有通孔,所述通孔使得吸收物料容器內(nèi)的廢氣吸收物料在封閉罩內(nèi)外的兩部分連通。應(yīng)用本發(fā)明裝置能夠?qū)⒒瘜W(xué)反應(yīng)過程中產(chǎn)生的有害氣體充分吸收,防止對(duì)人員和環(huán)境造成危害,具有裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、成本低的優(yōu)點(diǎn),尤其適用于硅的強(qiáng)酸腐蝕。
聲明:
“一種具有廢氣吸收功能的反應(yīng)裝置及其使用方法、應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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