本發(fā)明公開(kāi)了一種
太陽(yáng)能電池硅片的清洗方法,包括步驟:采用臭氧水溶液對(duì)硅片進(jìn)行浸泡清洗,使硅片表面產(chǎn)生氧化層;采用氫氟酸溶液對(duì)硅片進(jìn)行表面腐蝕處理;對(duì)硅片進(jìn)行漂洗。本發(fā)明清洗方法先以臭氧水溶液對(duì)硅片進(jìn)行浸泡清洗,能夠有效地氧化硅片表面沾污的有機(jī)物污質(zhì),并氧化硅片表面形成氧化膜;然后通過(guò)氫氟酸溶液對(duì)硅片進(jìn)行腐蝕清洗,去除表面的金屬污質(zhì),并腐蝕掉表面的氧化膜,在腐蝕掉表面氧化膜的同時(shí)去除了表面污質(zhì),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片表面的清洗。本發(fā)明清洗方法中采用臭氧水溶液,臭氧水溶液與表面有機(jī)物污質(zhì)反應(yīng)產(chǎn)生CO2和H2O,對(duì)人體無(wú)危害性,且臭氧水溶液產(chǎn)生的廢液對(duì)環(huán)境污染小,不需要進(jìn)行特殊處理。
聲明:
“太陽(yáng)能電池硅片的清洗方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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