本實用新型公開了一種高溫擴散設備,包括
真空泵,所述排廢管的左側(cè)設有第二弧形管,所述排廢管的外側(cè)套接有第一弧形管,所述第一弧形管與排廢管的中間留有空隙,所述第一弧形管的外側(cè)上端設有出氣口,該高溫擴散設備由真空泵連接干燥過濾裝置,由真空表顯示擴散爐管內(nèi)腔的壓力,通過加熱倉加熱,由進氣管和排廢管實現(xiàn)整個裝置,通過對原有基礎的排氣管進行改造,解決了排廢管的腐蝕斷裂,增加了排廢管使用壽命,減少了人員的工作勞動,有利于提高設備的正常運行率,同時也降低偏磷酸對人體的危害。使得氣體可以通過排廢管上的排氣孔快速排放,可以快速排走,加快工藝廢氣的排放,減少腐蝕,提高片內(nèi)、片間擴散的均勻性。
聲明:
“高溫擴散設備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)