本發(fā)明公開了一種制備二氧化硅氣凝膠的方法及系統(tǒng),該方法包括以下步驟:1)將
多晶硅生產(chǎn)尾氣通入到水中進(jìn)行水解,生成硅溶膠,其中,所述多晶硅生產(chǎn)尾氣包括二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅;2)使用堿性溶液調(diào)節(jié)所述硅溶膠的pH值為堿性,進(jìn)行凝膠化處理,生成硅凝膠;3)將所述硅凝膠進(jìn)行溶劑替換,替換掉所述硅凝膠中的水;4)通過超臨界二氧化碳干燥或低溫冷凍干燥,得到二氧化硅氣凝膠。該方法使用多晶硅生產(chǎn)尾氣作為硅源制備出二氧化硅氣凝膠,既對多晶硅生產(chǎn)尾氣中的氯
硅烷進(jìn)行回收綜合利用,又簡化了二氧化硅氣凝膠制備流程,具有較好的經(jīng)濟(jì)效益,降低了原料成本,同時(shí)可以減少環(huán)境污染和
固廢處理成本,提高企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。
聲明:
“制備二氧化硅氣凝膠的方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)