一種利用絲網(wǎng)印刷工藝實(shí)現(xiàn)低成本叉指換能器和反射柵的制備方法。該方法包括:根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)合的具體需求,設(shè)計(jì)聲表面波器件版圖,將待印刷的版圖制成用于絲網(wǎng)印刷的掩膜板;采用導(dǎo)電銀漿作為墨水,以拋光的壓電材料基片作為基材,按照給墨、刮墨和收墨的順序進(jìn)行印刷;然后將印刷完畢的產(chǎn)品放入紅外烤箱內(nèi),逐漸加熱到130℃~150℃,并逐漸降溫至室溫,使得液體銀墨水能夠燒結(jié)為固體,并具有良好的導(dǎo)電性即可。本發(fā)明與傳統(tǒng)微電子光刻工藝形成強(qiáng)烈對(duì)比的顯著優(yōu)勢(shì)包括:1.生產(chǎn)設(shè)備的成本低;2.生產(chǎn)過(guò)程的工藝簡(jiǎn)便,成本也很低;3.制備過(guò)程中不產(chǎn)生廢液和廢氣,更加環(huán)保;4.易于實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。
聲明:
“利用絲網(wǎng)印刷工藝實(shí)現(xiàn)低成本叉指換能器和反射柵的制備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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