本實(shí)用新型公開了一種處理緩沖氧化物刻蝕液的裝置,其包括:反應(yīng)釜、壓濾機(jī)和綜合調(diào)節(jié)池;其中,所述反應(yīng)釜中包含有進(jìn)料口、廢氣排放口和液固排放口;所述壓濾機(jī)中包含有入口、固體排放口和液體排放口;所述綜合調(diào)節(jié)池中包含有入口、第一出口、第二出口;所述反應(yīng)釜的液固排放口與所述壓濾機(jī)的入口相連;所述壓濾機(jī)的液體排放口與所述綜合調(diào)節(jié)池的入口相連。該裝置可很好的處理BOE廢液,且使得最終經(jīng)過處理的BOE廢液剩下的主要成分為水,可達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)。
聲明:
“處理緩沖氧化物刻蝕液的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)