本發(fā)明公開(kāi)了一種單晶硅切割渣及切割廢液的回收處理方法,包括以下步驟:(1)、在處于攪拌下的單晶硅切割渣及切割廢液中加入鹽酸,攪拌反應(yīng)后得混合料液;(2)、將混合料液加熱蒸發(fā)進(jìn)行固液分離,得到碳化硅、硅和雜質(zhì)的固體混合物和氣體,將氣體蒸出冷凝后得水和聚乙二醇的混合液,脫水后升溫排水得聚乙二醇;(3)、將碳化硅、硅和雜質(zhì)的固體混合物經(jīng)震蕩清洗和重力分離得到碳化硅和硅的固體混合物;(4)、將碳化硅和硅的固體混合物加入到硝酸和HF組成的混合酸溶液中,反應(yīng)后將氟硅酸蒸出,冷凝得氟硅酸,再將氟硅酸加工回收硅,反應(yīng)后剩余碳化硅和酸液,過(guò)濾酸洗、水洗并干燥得碳化硅。本發(fā)明方法環(huán)保且具有很大的經(jīng)濟(jì)效益。
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“單晶硅切割渣及切割廢液的回收處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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