本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備的廢料排出裝置,包括防水板(1)、濾渣板(2)、排水板(3)、渣料處理池(4)以及廢水處理池(5),防水板(1)位于半導(dǎo)體設(shè)備的底部,所述防水板(1)上開(kāi)設(shè)有一個(gè)出水口(6),所述出水口(6)與所述半導(dǎo)體設(shè)備的廢料排出口連接,所述濾渣板(2)設(shè)置在所述防水板(1)的下部,所述濾渣板(2)的一端與所述渣料處理池(4)連接,所述排水板(3)設(shè)置在所述濾渣板(2)的下部,所述廢水處理池(5)位于所述排水板(3)的下部。本實(shí)用新型提供的半導(dǎo)體設(shè)備的廢料排出裝置持久耐用,不需要定期更換,降低了設(shè)備故障率,節(jié)約了設(shè)備和維護(hù)成本。
聲明:
“半導(dǎo)體設(shè)備的廢料排出裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)