本發(fā)明涉及一種去除石英砂粉中羥基的方法,先將高純石英物料送入高溫真空爐中,升溫至1000~1050℃,通入H
2或H
2與氮氣和/或氦氣的混合氣體作為還原氣體,進行高溫還原處理,時間不少于2小時,然后開啟真空系統(tǒng),將溫度升至1470~1500℃,真空度6.0×10
?6~7.0×10
?6pa,進行真空脫氣處理,時間3~4小時,即得高純度低羥基石英砂粉物料。該方法制備出的石英砂粉中羥基含量低于3ppm。
聲明:
“去除石英砂粉中羥基的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)