本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種精密半導(dǎo)體清洗裝置，包括箱體、控制器、水箱、半導(dǎo)體進(jìn)出口、廢水出口；箱體的內(nèi)部左側(cè)固定安裝有氣缸腔，氣缸腔的內(nèi)中部固定有氣缸，氣缸的右側(cè)輸出端設(shè)置有穿過(guò)氣缸腔的橫向的活塞桿，活塞桿的末端固定安裝有旋轉(zhuǎn)安裝塊，旋轉(zhuǎn)安裝塊的右側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有與活塞桿同軸心的連接桿，連接桿的末端固定安裝有夾持塊，箱體的內(nèi)部右側(cè)固定安裝有旋轉(zhuǎn)電機(jī)腔，旋轉(zhuǎn)電機(jī)腔的內(nèi)中部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的左側(cè)輸出端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有穿過(guò)旋轉(zhuǎn)電機(jī)腔的旋轉(zhuǎn)桿，旋轉(zhuǎn)桿的末端也固定安裝有夾持塊。夾持塊的一側(cè)設(shè)置有夾持口，位于夾持塊上方的箱體的內(nèi)頂部向下設(shè)置有兩組噴水口。本發(fā)明沖洗速度快，全面，精度高，效果好。