本發(fā)明公開了一種全封閉石英晶片清洗機(jī),旨在提供一種清洗效果好的全封閉石英晶片清洗機(jī)。本發(fā)明包括機(jī)箱,所述機(jī)箱中設(shè)置有漏水板、廢水回收模塊及三個(gè)頂升機(jī)構(gòu),所述漏水板上設(shè)置有藥劑清洗水池、噴洗水池及清水水池,所述廢水回收模塊位于所述漏水板的下方,且與所述藥劑清洗水池、所述噴洗水池及所述清水水池配合,所述頂升機(jī)構(gòu)的下端配合設(shè)置有晶片放置籃,三個(gè)所述晶片放置籃分別與所述藥劑清洗水池、所述噴洗水池及所述清水水池配合。本發(fā)明應(yīng)用于石英晶片清洗機(jī)的技術(shù)領(lǐng)域。
聲明:
“全封閉石英晶片清洗機(jī)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)