本發(fā)明涉及一種雷達(dá)領(lǐng)域,尤其涉及一種基于MEMS方法的激光雷達(dá)硅基板刻蝕處理裝置。技術(shù)問題:提供一種基于MEMS方法的激光雷達(dá)硅基板刻蝕處理裝置。本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種基于MEMS方法的激光雷達(dá)硅基板刻蝕處理裝置,包括有廢水清理和保護(hù)機(jī)構(gòu)、廢渣積聚機(jī)構(gòu)和廢渣處理機(jī)構(gòu)等;廢水清理和保護(hù)機(jī)構(gòu)與廢渣積聚機(jī)構(gòu)相連接;廢水清理和保護(hù)機(jī)構(gòu)與廢渣處理機(jī)構(gòu)相連接。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了能夠有效對硅基板進(jìn)行刻蝕,刻蝕時(shí)不會(huì)損傷硅基板其它部位,并且能夠有效的將廢液和殘?jiān)M(jìn)行清理收集,達(dá)到保護(hù)環(huán)境,且使得后期驅(qū)動(dòng)線圈的填入不存在問題,從而提高雷達(dá)使用壽命,并且確保了雷達(dá)準(zhǔn)度的效果。
聲明:
“基于MEMS方法的激光雷達(dá)硅基板刻蝕處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)