本發(fā)明涉及工業(yè)廢液的分類排放技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)及其應(yīng)用。該系統(tǒng)包括多組提供清洗液的供液管路和與每組的供液管路對應(yīng)的排放清洗廢液的排放管路,在每條的供液管路上設(shè)置有供液氣動開關(guān)閥,在每條的排放管上設(shè)置有排放氣動開關(guān)閥,系統(tǒng)還包括輸出開關(guān)信號的控制裝置、由控制裝置控制的供液電磁閥和由控制裝置控制的排放電磁閥,供液電磁閥連接各個(gè)的供液氣動開關(guān)閥,排放電磁閥連接各個(gè)的排放氣動開關(guān)閥,系統(tǒng)還包括多條廢液收集槽。通過本發(fā)明所提供的系統(tǒng),可以對廢液的排放進(jìn)行切換,達(dá)到廢液的分類排放效果,降低廢液排放和回收的處理成本,提高回收化學(xué)品的品質(zhì)和回收量,并有利于環(huán)保。
聲明:
“晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)