本發(fā)明提供一種薄膜晶體管液晶顯示裝置的蝕刻組合物,通過(guò)使用該組合物即可利用單一工序來(lái)對(duì)構(gòu)成薄膜晶體管液品顯示裝置的TFT中的作為柵極配線材料的MO/ALND雙重膜或MO/ALND/MO三重膜進(jìn)行濕式蝕刻以獲得優(yōu)異的錐形而不會(huì)產(chǎn)生作為下部膜的ALND或MO的底切現(xiàn)象,同時(shí)使得作為源極/漏極配線材料的MO單一膜和MO/ALND/MO三重膜也可以形成優(yōu)異的輪廓。本發(fā)明涉及薄膜晶體管液晶顯示裝置的蝕刻組合物,特別是涉及含有A)磷酸、B)硝酸、C)乙酸、D)鋰類化合物、E)磷酸鹽類化合物和F)水的薄膜晶體管液晶顯示裝置的蝕刻組合物。