本發(fā)明公開了提供一種等離子體淀積爐的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)，包括：內(nèi)層石英管，其內(nèi)部為用于盛裝反應(yīng)氣體的反應(yīng)腔；外層石英管，其套在內(nèi)層石英管外并與所述內(nèi)層石英管同軸，外層石英管與所述內(nèi)層石英管之間具有間距；用于將反應(yīng)氣體電離產(chǎn)生碳原子的電感線圈，其纏繞在內(nèi)層石英管上，且電感線圈沿內(nèi)層石英管的軸向延伸，電感線圈與射頻電源連接。本發(fā)明電感線圈通入射頻電源后，電感線圈將反應(yīng)腔內(nèi)的反應(yīng)氣體電離產(chǎn)生碳原子，這樣碳原子會一層一層的落在銅箔或鋁箔上，而碳原子與碳原子之間會通過化學(xué)鍵聯(lián)接在一起，從而在銅箔或鋁箔上生長出石墨烯，這樣石墨烯具有特定的結(jié)構(gòu)，更有利于鋰離子電池的儲能，從而使該鋰離子電池具有更高的能量密度。