本發(fā)明公開了一種聲表面波材料及其制作方法，屬于聲表面波材料領(lǐng)域。該聲表面波材料包括硅基底、在硅基底之上的硅基薄膜、以及在硅基薄膜之上的壓電單晶薄膜；壓電單晶薄膜為鉭酸鋰壓電單晶薄膜或鈮酸鋰壓電單晶薄膜；硅基薄膜的鍵合面或壓電單晶薄膜的鍵合面或硅基底的鍵合面上制作有溝槽結(jié)構(gòu)陣列；硅基薄膜的鍵合面、壓電單晶薄膜的鍵合面、硅基底的鍵合面均為拋光面；解決了現(xiàn)有的多層鍵合壓電材料體波影響聲表面波，導(dǎo)致聲表面濾波器高端抑制差的問題；達(dá)到了擴(kuò)大多層鍵合壓電材料的應(yīng)用范圍，保證聲表面波濾波器的性能的效果。