本發(fā)明可提高壓電薄膜器件的特性。含有4個壓電薄膜諧振子(R11~R14)的壓電薄膜濾波器(1)具有通過粘接層(12)粘接濾波器部(11)和平坦的底座基板(13)的結(jié)構(gòu),該濾波器部(11)包含不能單獨承受自重的壓電體薄膜(111),該底座基板(13)機(jī)械地支撐濾波器部(11)。作為構(gòu)成壓電薄膜器件(111)的壓電體材料,最好是從水晶、鈮酸鋰、鉭酸鋰、四硼酸鋰、氧化鋅、鈮酸鉀以及硅酸鎵鑭中選擇的、不包含晶粒邊界的單晶材料。
聲明:
“壓電薄膜器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)