公開了聲波諧振器器件和濾波器。一種聲波諧振器,包括具有表面的基板和鈮酸鋰板。所述鈮酸鋰板的背面附接到所述基板上,但是所述鈮酸鋰板形成一隔膜的部分未附接到所述基板上,所述隔膜跨越所述基板中的空腔。叉指換能器(IDT)在鈮酸鋰板的正面上形成,使得其中IDT的交錯(cuò)的指狀物設(shè)置在隔膜上。IDT和鈮酸鋰板被配置成使得施加到IDT的射頻信號(hào)激發(fā)隔膜內(nèi)的剪切主聲學(xué)模。鈮酸鋰極板的歐拉角為[0°,β,0°],其中β大于等于40°且小于等于70°。
聲明:
“頻率溫度系數(shù)降低的聲波諧振器和濾波器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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