本發(fā)明涉及一種鋰電或超級電容生產(chǎn)工藝設(shè)備。它包括依次連接的真空烘箱、真空循環(huán)冷卻箱、手套箱和出料倉；其特征在于：該真空烘箱用于對電芯加熱48小時以上，并經(jīng)過加熱、抽真空、氣體置換的反復(fù)操作，以將電芯內(nèi)部的水含量控制在300ppm以內(nèi)。它能有效嚴(yán)格控制電芯內(nèi)部水含量（有效控制在300ppm以內(nèi)），并且實現(xiàn)生產(chǎn)過程的高效、節(jié)能。