本發(fā)明屬于廢氣處理領(lǐng)域，具體涉及處理六氟磷酸鋰制備過(guò)程中廢氣的系統(tǒng)及方法。處理六氟磷酸鋰制備過(guò)程中廢氣的系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)如下：廢氣排放管道與第一換熱器相連接；第一換熱器、第一級(jí)氟化氫洗滌塔、第二級(jí)氟化氫洗滌塔、第二換熱器、第一級(jí)氯化氫洗滌塔，第二級(jí)氯化氫洗滌塔通過(guò)氣體管道依次相串聯(lián)。廢氣分別經(jīng)第一換熱器換熱，再經(jīng)各級(jí)洗滌塔吸收，以達(dá)到處理氟化氫和氯化氫氣體的目的。本發(fā)明的有益效果在于：減少了六氟磷酸鋰生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的混酸量，提高了混酸中氫氟酸的濃度，使得混酸更利于制備副產(chǎn)品，同時(shí)能收集到更高純度的濃鹽酸，進(jìn)一步提高了鹽酸的附加值。