本發(fā)明提供了一種鋰鈦共摻雜氧化鎳基陶瓷薄 膜及其制備方法，屬于氧化物陶瓷薄膜材料技術(shù)領(lǐng)域，適用于 介電薄膜材料。本發(fā)明的陶瓷薄膜化學(xué)式為： LixTiyNi1－x－yO，其中：x為 0.05～0.5，y為0.02～0.2。采用溶膠－凝膠法制備前驅(qū)體溶液， 使用勻膠機(jī)制備薄膜，其價格低廉，鋰鈦共摻雜氧化鎳基陶瓷 薄膜材料是一種新型的無鉛電介質(zhì)薄膜材料，性能穩(wěn)定。鋰鈦 共摻雜氧化鎳陶瓷薄膜材料具有高的介電常數(shù)，頻率為 1000Hz，ε＞100，適合各種高介電常數(shù)薄膜器件的要求，在 電介質(zhì)領(lǐng)域，可用于制造薄膜電容器和動態(tài)隨即存取存儲器 DRAM。