一種遙感勘測(cè)領(lǐng)域的微電子機(jī)械系統(tǒng)次聲傳感器陣列遙感勘測(cè)系統(tǒng)。其數(shù)據(jù)檢測(cè)控制系統(tǒng)對(duì)掃描定向控制系統(tǒng)進(jìn)行控制;掃描定向控制系統(tǒng)對(duì)超低頻聲波發(fā)射系統(tǒng)和微電子機(jī)械頻率耦合傳感器陣列控制并將反饋信息傳遞給數(shù)據(jù)分析系統(tǒng);超低頻聲波集束發(fā)射系統(tǒng)向地質(zhì)結(jié)構(gòu)發(fā)射檢測(cè)聲波,通過(guò)微電子機(jī)械頻率耦合傳感器陣列;微電子機(jī)械頻率耦合傳感器陣列接收并進(jìn)行低頻信號(hào)混頻耦合,將低頻信號(hào)轉(zhuǎn)化成中頻頻率信號(hào),將測(cè)量頻率耦合信號(hào)傳遞給模數(shù)轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)傳輸網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行模擬數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換,同時(shí)將測(cè)量數(shù)據(jù)傳輸給數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)與數(shù)據(jù)檢測(cè)控制系統(tǒng)進(jìn)行信息交換,分析數(shù)據(jù)結(jié)果及反饋信息傳遞給數(shù)據(jù)檢測(cè)控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)測(cè)試速度快、快速反應(yīng)能力強(qiáng)、數(shù)據(jù)傳輸質(zhì)量高。