本發(fā)明屬于納米技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種微納米載藥機(jī)器人及其制備方法。本發(fā)明提供的制備方法包括以下步驟：a)提供表面設(shè)置有SiO₂膜層的襯底基板；b)在SiO₂膜層上設(shè)置武德合金膜層；c)在武德合金層上設(shè)置磁性膜層；d)對(duì)磁性膜層進(jìn)行等離子體轟擊；e)將完成等離子體轟擊的多層復(fù)合材料進(jìn)行分離；f)對(duì)分離獲得的磁性膜層進(jìn)行研磨，得到磁性納米粒子；g)將所述磁性納米粒子和藥液超聲混合，然后與水混合，之后除去混合體系中的揮發(fā)性有機(jī)溶劑，并急速冷卻，最后離心分離，得到微納米載藥機(jī)器人。本發(fā)明提供的制備方法生產(chǎn)工藝穩(wěn)定，適于工業(yè)化；采用該方法制備的微納米載藥機(jī)器人具有良好的磁性和藥物緩釋效果，尺寸均勻性高。