本發(fā)明公開了一種太陽能電池用減反射材料及其制備方法。該減反射材料為氧化鉺-氧化鋁(Er2O3-Al2O3)復(fù)合材料,其中Al2O3的含量為20～30%,此減反射材料是穩(wěn)定的非晶復(fù)合氧化物材料。采用射頻磁控濺射制備,濺射靶為Er2O3和Al2O3混合陶瓷靶,在P型Si(100)襯底上制備得到ErAlO非晶減反射氧化物薄膜。本發(fā)明的太陽能電池用減反射材料有可調(diào)節(jié)的折射率,優(yōu)良的減反射效果,和良好熱穩(wěn)定性、光學(xué)特性。