本發(fā)明公開了一種直拉單晶硅爐用碳化硅涂層的碳/碳加熱器，包括以下步驟：一、將T700碳纖維單向布和碳纖維網(wǎng)胎交替疊層針刺成加熱器預(yù)制體；二、將碳化硅微粉、無水乙醇和表面活性劑按照一定比列混合為漿料；三、將二中得到的預(yù)制體置于85℃的烘干爐內(nèi)；四、將處理好的加熱器預(yù)制體放入化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)；五、將加熱器毛坯進行高溫石墨化處理；六、將碳/碳加熱器毛坯進行機械加工；七、將加工好的碳/碳加熱器放入化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)，得到碳化硅涂層的碳/碳復(fù)合材料加熱器。其技術(shù)方案要點是，本發(fā)明的碳化硅涂層是采用化學(xué)氣相沉積制備的，碳/碳加熱器表面涂層較為均勻，有效解決了碳/碳加熱器的硅蝕問題，延長了碳/碳加熱器的使用壽命。