本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體熱處理真空爐熱場結(jié)構(gòu),包括:熱場箱,位于真空爐內(nèi),包括箱體及箱蓋,箱體一側(cè)開口與箱蓋密合,箱體與箱蓋均為保溫碳?xì)植牧?設(shè)置在熱場箱底部的爐床;裝載臺(tái)放置在爐床上,包括兩側(cè)壁,側(cè)壁上平行設(shè)有若干用于放置工件的凹槽;加熱器,設(shè)置在裝載臺(tái)上方和/或下方,與外部電極連接。本發(fā)明通過在熱場箱的內(nèi)壁的保溫碳?xì)直砻鎳娡磕透邷赝苛?并在箱體出口的邊緣、箱蓋和風(fēng)窗處除了噴涂耐高溫涂料外,還包裹一層碳碳復(fù)合材料,增強(qiáng)了熱場箱的防氧化效果,增加了其使用壽命,提高了保溫效果;通過上下設(shè)置的加熱器中并排設(shè)置的加熱棒對(duì)工件進(jìn)行均衡加熱,不僅縮短加熱時(shí)間,且提高了熱處理效果,減少了能耗,降低了成本。