本發(fā)明的課題在于，解決因有機材料的氣化而使得其它蒸鍍用原料被污染、或者成膜速度不能控制而發(fā)生失控等現(xiàn)有技術(shù)中的問題，提供一種能夠穩(wěn)定地調(diào)節(jié)、控制成膜速度及蒸發(fā)速度的有機材料的激光蒸鍍方法、激光蒸鍍裝置，在將至少一種有機材料進行激光蒸鍍的方法中，其特征在于，對使該有機材料蒸發(fā)的激光的占空比進行調(diào)節(jié)。另外，其特征在于，基于上述有機物的蒸發(fā)速度、蒸鍍用真空腔內(nèi)的蒸氣壓對上述占空比進行調(diào)節(jié)。