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復合材料合成用沉積系統(tǒng)

1073   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網  
2023-03-18 16:16:03
本發(fā)明提供了一種復合材料合成用沉積系統(tǒng),包括激光源、一驅動機構、至少兩個第一反射鏡、真空室、至少兩個用于固定不同的源材料靶材的第一固定平臺以及用于沉積復合材料的基片;所述第一固定平臺以及基片均設置于所述真空室內,所述至少兩個第一固定平臺分別與所述基片的預設區(qū)域相對,所述真空室設置有通光部,所述激光源與所述第一反射鏡的出光方向呈預設夾角;所述驅動機構與所述激光源連接以驅動所述激光源移動,使得所述激光源發(fā)出的激光選擇性地射入至所述至少兩個第一反射鏡中的一個第一反射鏡,所述第一反射鏡用于將激光通過所述通光部射入所述真空室中的對應所述第一固定平臺處。
聲明:
“復合材料合成用沉積系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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