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大尺寸圓截面陶瓷基復(fù)合材料構(gòu)件熔融滲硅工裝及方法

1082   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:42:02
本發(fā)明涉及一種大尺寸圓截面陶瓷基復(fù)合材料構(gòu)件熔融滲硅工裝及方法,解決對(duì)于大尺寸圓截面陶瓷基復(fù)合材料零構(gòu)件LSI工藝制備過(guò)程存在的過(guò)程控制難度大、構(gòu)件密度均勻差、易變形及底部液硅易堆積、粘接等問(wèn)題,工裝包括由石墨材料制成的多個(gè)坩堝單元,各坩堝單元依次同軸從下至上疊放形成坩堝,相鄰兩個(gè)坩堝單元之間鋪設(shè)環(huán)形石墨紙層。方法包括加工大尺寸圓截面陶瓷基復(fù)合材料構(gòu)件半成品及制備大尺寸圓截面陶瓷基復(fù)合材料構(gòu)件的步驟。本發(fā)明通過(guò)設(shè)計(jì)分層結(jié)構(gòu)形式的坩堝,采用該結(jié)構(gòu)坩堝,可有效將高溫熔融的原料按區(qū)域分割,防止因重力作用導(dǎo)致高溫時(shí)熔融原料下沉,出現(xiàn)下部致密化程度高,上部致密化程度低的現(xiàn)象,有效地提高構(gòu)件密度的均勻性。
聲明:
“大尺寸圓截面陶瓷基復(fù)合材料構(gòu)件熔融滲硅工裝及方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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