本發(fā)明公開的后置分光瞳激光差動共焦LIBS光譜顯微成像方法與裝置,屬于共焦顯微成像和光譜成像測量技術領域。本發(fā)明將后置分光瞳激光差動共焦顯微成像技術與激光誘導擊穿光譜探測技術結合,利用經(jīng)超分辨技術處理的后置分光瞳差動共焦顯微鏡的微小聚焦光斑對樣品進行高空間分辨形態(tài)成像,利用光譜探測系統(tǒng)對聚焦光斑激發(fā)的激光誘導擊穿光譜進行微區(qū)光譜探測,利用LIBS光譜探測和后置分光瞳差動共焦探測結構融合實現(xiàn)樣品微區(qū)完整組分信息與形態(tài)參數(shù)的高空間分辨和高靈敏成像與探測。本發(fā)明可為生物醫(yī)學、材料科學、礦產(chǎn)、微納制造等領域形態(tài)成像及物質組分探測提供一條全新的有效技術途徑。
聲明:
“后置分光瞳激光差動共焦LIBS光譜顯微成像方法與裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)