一種微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域的復(fù)合密度和剛度的微機(jī)電固態(tài)陀螺儀,包括:檢測質(zhì)量塊、起振驅(qū)動機(jī)構(gòu)和檢測機(jī)構(gòu),其中:檢測質(zhì)量塊的上表面和下表面分別對稱設(shè)有兩組相同的起振驅(qū)動機(jī)構(gòu)和檢測機(jī)構(gòu);所述的起振驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括兩個對稱設(shè)置于檢測質(zhì)量塊上表面的驅(qū)動電極;所述的檢測機(jī)構(gòu)包括:信號干擾隔離電極、角速度檢測電極和模態(tài)檢測電極,其中:四個角速度檢測電極兩兩對稱地設(shè)置于檢測質(zhì)量塊下表面的外沿,兩個模態(tài)檢測電極對稱布置于檢測質(zhì)量塊下表面的中部,信號干擾隔離電極環(huán)繞設(shè)置于模態(tài)檢測電極的外側(cè)。本發(fā)明不需要專門的支撐梁結(jié)構(gòu),整體結(jié)構(gòu)簡單,抗沖擊能力大,不需要真空封裝,陀螺性能可大大提高。
聲明:
“復(fù)合密度和剛度的微機(jī)電固態(tài)陀螺儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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