本發(fā)明屬于薄膜材料技術(shù)領(lǐng)域。薄膜組成的通式為La1-x-yMxKyMnO3,其中M=Ca、Sr或Ba,0<x<1,0<y<1,x+y<1。制備方法有下述步驟:(1)水熱法合成靶材。先得到三重價態(tài)
鈣鈦礦型錳氧化物黑色晶體。將制得的晶體研磨,壓片,燒結(jié),得到所用的靶材。(2)用射頻磁控濺射方法制備薄膜。在常溫下這類薄膜具有p-n結(jié)整流性質(zhì),因此可以作為獨立器件,在晶體管、集成電路、整流器、激光器以及各種光電探測器件、微波器件、光電轉(zhuǎn)換器件、量子計算集成器件等方面得到應(yīng)用。
聲明:
“三重價態(tài)鈣鈦礦型錳氧化物薄膜材料及其制備和應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)