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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法

786 編輯：管理員來源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)

2023-03-18 15:00:02

本發(fā)明公開了一種高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法，該生產(chǎn)方法包括：1、將兩種粒徑范圍不同的鉬粉在真空條件下混合，過篩后得到混合粉料；2、將混合粉料進行等靜壓處理；3、燒結(jié)處理；4、熱軋?zhí)幚恚?；真空退火；6、水切割、銑削加工、磨床加工。通過該方法得到的鉬靶材的長度可達3500mm以上，厚度≤30mm，寬度≤600mm，平面度小于0.08mm，鉬含量≥99.97％，該生產(chǎn)方法的生產(chǎn)效率高，所得高世代鉬靶材的致密度≥99.5％，鉬靶材內(nèi)部組織無氣孔、裂紋、分層、夾雜等缺陷，其表面粗糙度＜0.6um，平均晶?！?0um，晶粒均勻，可作為G10.5代線平面顯示器生產(chǎn)的高純鉬靶；本發(fā)明提供的高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法，制備方法簡單，生產(chǎn)成本較低，成品率高，有利于工業(yè)化生產(chǎn)。

聲明：

“高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術(shù)所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)