亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 真空冶金技術(shù)

> 電子束蒸發(fā)技術(shù)制備碳化硼薄膜的方法

電子束蒸發(fā)技術(shù)制備碳化硼薄膜的方法

1096   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:00:01
一種電子束蒸發(fā)技術(shù)制備碳化硼薄膜的方法,將碳化硼膜料放到電子束蒸發(fā)設(shè)備的坩堝中,將清洗、干燥后的基片放到電子束蒸發(fā)設(shè)備的加熱電爐上,使基片位于坩堝正上方20cm~30cm處;在真空條件進(jìn)行鍍膜,鍍膜真空度不小于6.0×10-3Pa,基片溫度控制在室溫~450℃,調(diào)節(jié)電子束使其聚焦到膜料上的斑點(diǎn)最小,控制束流值在100mA~180mA,沉積時(shí)間為5min~120min。此種方法既可制備非晶態(tài)碳化硼薄膜,又可制備多晶結(jié)構(gòu)的碳化硼薄膜,還可制備各種不同B、C成分配比的碳化硼薄膜,而且所制備的碳化硼薄膜表面光滑、薄膜致密、均勻性良好。
聲明:
“電子束蒸發(fā)技術(shù)制備碳化硼薄膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
真空冶金
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記