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用于釬焊的氧化鋁陶瓷金屬化方法

662 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 14:58:01

一種用于釬焊的氧化鋁陶瓷金屬化方法，步驟為：(1)將氧化鋁陶瓷進行清洗，然后在1000～1200℃保溫燒結50～70min；(2)采用真空磁控濺射、真空蒸鍍或離子鍍的方法在氧化鋁陶瓷未覆蓋鋁箔部位的表面依次沉積Ti、Zr或Hf金屬層，Mo或Cr金屬層，Ni或Cu金屬層；(3)將沉積了金屬層的氧化鋁陶瓷置于真空燒結爐中并對真空燒結爐抽真空，當爐內真空度達到4×10-3Pa時開始加熱，將爐內溫度升至430～480℃并在該溫度保溫20～40min，然后再升溫至900～1200℃保溫20～60min，保溫結束后隨爐冷卻至室溫即完成氧化鋁陶瓷的金屬化，在上述升溫和保溫過程中保持爐內真空度高于6×10-3Pa。本發(fā)明能簡化工藝，降低金屬化成本，并提高高純氧化鋁陶瓷的金屬化效果。

聲明：

“用于釬焊的氧化鋁陶瓷金屬化方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)