本實(shí)用新型涉及一種高真空燒結(jié)爐,包括爐體、風(fēng)機(jī)、真空閥、抽氣泵和小機(jī)械泵。該真空閥包括主閥;該抽氣泵包括擴(kuò)散泵、羅茨泵和滑閥泵。該風(fēng)機(jī)、該爐體和該主閥通過(guò)管道依序連接。該擴(kuò)散泵的進(jìn)口與該主閥的第一出口通過(guò)管道連接,并且,該擴(kuò)散泵、該羅茨泵和該滑閥泵通過(guò)管道依序連接。該小機(jī)械泵的進(jìn)口通過(guò)管道與該擴(kuò)散泵的出口連接。本實(shí)用新型的高真空燒結(jié)爐中的小機(jī)械泵防止了擴(kuò)散泵、羅茨泵和滑閥泵在停止工作后擴(kuò)散泵中的油蒸汽倒灌進(jìn)入爐體內(nèi),保障了爐內(nèi)燒結(jié)環(huán)境的純度,進(jìn)而提高了高真空燒結(jié)爐的燒結(jié)質(zhì)量。
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