本發(fā)明公開(kāi)了一種石英玻璃棒溫度和功率聯(lián)合控制真空燒結(jié)方法，升溫至燒結(jié)溫度前，加熱電源采用溫度PID控制模式，達(dá)到燒結(jié)溫度10min后，程序自動(dòng)切換至功率控制模式，以避免因紅外測(cè)溫不準(zhǔn)，而造成石英玻璃棒因?qū)嶋H溫度過(guò)高造成的玻璃棒拉長(zhǎng)報(bào)廢的問(wèn)題，燒結(jié)階段Phase結(jié)束后，程序再自動(dòng)切換至溫度PID控制模式；根據(jù)上一爐燒結(jié)運(yùn)行數(shù)據(jù)，各段紅外測(cè)溫溫度和加熱電源功率輸出，對(duì)下一爐燒結(jié)配方recipe數(shù)據(jù)進(jìn)行修正；本發(fā)明采用溫度和功率聯(lián)合控制控制，可實(shí)現(xiàn)真空燒結(jié)多段紅外溫度與實(shí)際溫度相差較大時(shí)，仍可燒結(jié)出均勻性較好的石英玻璃棒，以提高真空燒結(jié)設(shè)備使用率和石英玻璃棒成品合格率。