本實(shí)用新型涉及一種多級羅茨式無油
真空泵,該泵由主從動(dòng)軸、主從動(dòng)轉(zhuǎn)子、兩端側(cè)蓋、泵體、級間隔板、主從動(dòng)齒輪構(gòu)成,其中泵體采用兩片分體結(jié)構(gòu),兩片泵體中有各自的水冷夾層,泵體隨轉(zhuǎn)子級數(shù)不同分有多個(gè)相對獨(dú)立的泵腔,兩極泵腔之間有兩片分體式的級間隔板分開,并通過級間氣流通道相連,轉(zhuǎn)子端面形成采用三葉形,本實(shí)用新型與已有技術(shù)比較有如下優(yōu)點(diǎn):工作時(shí)經(jīng)過逐級壓縮,增大壓縮比提高極限真空度,節(jié)約能源,在抽速相同的情況下減小了泵的體積,同時(shí)降低了氣流脈動(dòng)沖擊,減小噪音,并且實(shí)現(xiàn)直排大氣,不需要接前級泵即可工作,在抽氣過程中可保持真空環(huán)境不受污染,適用于半導(dǎo)體、石化、冶金、食品、醫(yī)藥、電子、包裝、印刷等行業(yè)。
聲明:
“多級羅茨式無油真空泵” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)