本發(fā)明公開了一種耐腐蝕硬質(zhì)防護(hù)涂層的制備技術(shù)。本發(fā)明利用中頻非平衡磁控濺射技術(shù),改變N2的流量和通入時(shí)間,從而制備CrAl/CrAlN多層薄膜。本發(fā)明的多層鍍層可作為防護(hù)耐磨涂層應(yīng)用于冶金、化工、能源、海洋開發(fā)等領(lǐng)域的金屬運(yùn)動(dòng)部件上。
聲明:
“耐腐蝕硬質(zhì)防護(hù)涂層的制備技術(shù)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)