本發(fā)明涉及一種在加氫脫氯反應(yīng)器中使四氯化硅與氫氣反應(yīng)生成三氯
硅烷的方法,其中該加氫脫氯反應(yīng)器是壓力驅(qū)動的,并且包含一個或多個由陶瓷材料制成的反應(yīng)器管。本發(fā)明進一步涉及這樣的加氫脫氯反應(yīng)器的用途,其用作由冶金硅來生產(chǎn)三氯硅烷的設(shè)備中的整體部件。
聲明:
“用于將四氯化硅轉(zhuǎn)化成三氯硅烷的流動管反應(yīng)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)