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銅制齒輪淬火感應傳感器陶瓷鍍層及其制備方法

903 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 14:51:06

本發(fā)明公開了一種銅制齒輪淬火感應傳感器陶瓷鍍層，以薄膜熱膨脹系數遞減為順序，依次沉積Cu?Ti?Zr薄膜、Ti?Zr薄膜與(Ti,Zr)N+(Zr,Ti)N薄膜，形成納米結構多層膜材料作為鍍層，所述薄膜厚度為2.5μm?10μm。同時公開了該多層膜結構鍍層的制備方法。本發(fā)明解決目前工業(yè)應用過程中傳感器和對向工件之間因碰撞而發(fā)生的打火問題，改善傳感器表面耐磨性與絕緣性，提升淬火效率；利用多靶共聚焦非平衡磁控濺射技術，以熱膨脹系數遞減與層間冶金結合為原則設計涂層，提升膜基結合力，更具應用價值。

聲明：

“銅制齒輪淬火感應傳感器陶瓷鍍層及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)