本發(fā)明涉及一種新型的CRALTI(Y)N薄膜及其制備方法。通過采用AL-Y合金靶材,獲得了具有生產(chǎn)效率高、優(yōu)良結(jié)合強(qiáng)度的CRALTI(Y)N薄膜,其含Y合金靶材成分為(按重量份數(shù)比):AL-Y合金靶(0
稀土Y,通過高溫熔制備AL-Y合金靶材或粉末冶金制備AL-Y合金靶材,并且使靶材中稀土Y含量滿足0
聲明:
“新型CRALTI(Y)N薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)