本發(fā)明提供了一種過渡金屬硼化物涂層及其制備方法,方法包括:將基底待沉積表面進(jìn)行離子轟擊清洗;將離子轟擊清洗后的基底表面上用電弧離子鍍形成過渡金屬層;用磁控濺射與電弧離子鍍共沉積的復(fù)合鍍膜技術(shù)在過渡金屬層上形成過渡金屬硼化物涂層MBx。本發(fā)明中采用通過磁控濺射與電弧離子鍍相結(jié)合的MS/AIP復(fù)合沉積工藝,得到通過過渡金屬層與基底表面結(jié)合的過渡金屬硼化物涂層MBx;其中過渡金屬層通過電弧離子鍍進(jìn)行沉積,具有高的離化率和粒子能量,在沉積過程中由于負(fù)偏壓的作用,可以對基底表面進(jìn)行有效的離子轟擊,提高了沉積粒子的動能,使表面不斷沉積的粒子與表層原子發(fā)生冶金結(jié)合,最終使基底表面和沉積的過渡金屬硼化物涂層MBx的結(jié)合力大大提升。
聲明:
“過渡金屬硼化物涂層及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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