本發(fā)明涉及借助
粉末冶金制造的靶的電弧蒸發(fā),其中成分以金屬間化合物的形式存在。為了靶制造而采用以下粉末,該粉末包含第一金屬間化合物和第二金屬間化合物和/或第一陶瓷化合物和第二陶瓷化合物。
聲明:
“電弧蒸發(fā)金屬靶材、金屬間化合物靶材和陶瓷靶材以制造Al-Cr-N涂層” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)