本發(fā)明公開了一種制備鉬鈦合金濺射靶材的方法,該方法為:一、用多孔篩篩選出海綿鈦;二、將鉬粉和篩選出的海綿鈦進(jìn)行機械混合得到混合料;三、將制成的混合料和平均粒度不超過15mm的海綿鈦按照下層海綿鈦、中層混合料和上層海綿鈦的順序進(jìn)行布料,壓制后制成鉬鈦合金電極;四、將制備的鉬鈦合金電極置于真空自耗電弧熔煉爐中進(jìn)行熔煉,得到鉬鈦合金鑄錠;五、將鉬鈦合金鑄錠經(jīng)過表面處理后,切割成特定形狀的鉬鈦合金濺射靶材。本發(fā)明制備的鉬鈦合金靶材較傳統(tǒng)
粉末冶金方法制備的合金靶材具有工藝簡單、成本低、尺寸可調(diào)范圍廣的特點,而且制備的合金靶致密、成分均勻性良好,品質(zhì)穩(wěn)定,適合大批量工業(yè)化生產(chǎn)。
聲明:
“制備鉬鈦合金濺射靶材的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)