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用于氣瓶MOCVD沉積鎳的油浴裝置及生產方法

966 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 14:50:12

本發(fā)明公開了一種用于氣瓶MOCVD沉積鎳的油浴裝置及生產方法，屬于羰化冶金生產領域，解決了加熱溫度的不均勻導致的鎳層厚度的不均勻的問題。本發(fā)明包括串聯在導熱油管道上的氣瓶加熱室、導熱油泵和導熱油加熱器，氣瓶加熱室內安裝有至少一個待沉積氣瓶。方法包括以下步驟：將氣瓶安裝在氣瓶加熱室內，氣瓶內通入氮氣進行壓力測試；氣瓶內通入CO氣體進行壓力測試和CO氣體置換；開啟導熱油泵和導熱油加熱器，導熱油循環(huán)不斷對氣瓶進行加熱；向氣瓶內通入羰基鎳和CO的混合氣體，在導熱油的加熱條件下，進行MOCVD沉積鎳。本發(fā)明通過油浴對氣瓶進行均勻加熱，使氣瓶中所形成的鍍鎳層均勻、致密、光滑。

聲明：

“用于氣瓶MOCVD沉積鎳的油浴裝置及生產方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)