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鉬合金濺射靶材的制備工藝

1068   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:46:35
本發(fā)明屬于高溫難熔金屬靶材制備領(lǐng)域,具體涉及一種鉬合金濺射靶材的制備工藝,本發(fā)明采用粉末冶金方法制備,靶材所用原料包含合計原子百分比0.5%??40%的Ga、Ni、Nd元素組中的至少一種元素和原子比0.5%??40%的Ti作為摻雜金屬,余量為Mo和不可避免的雜質(zhì);本發(fā)明經(jīng)過原料配比、原料混合、膠套裝粉定型、冷等靜壓作業(yè)、熱等靜壓作業(yè)、熱軋作業(yè)和機(jī)加工作業(yè),得到最終所需產(chǎn)品尺寸;本發(fā)明工藝步驟簡單,操作便捷,制備的鉬合金濺射靶材耐氧化性、耐濕性、與PR膠的粘合力等各項技術(shù)指標(biāo)優(yōu)秀,可滿足高端電子產(chǎn)品鍍膜領(lǐng)域使用需求,且生產(chǎn)成本低,產(chǎn)品尺寸寬泛,便于工業(yè)化批量生產(chǎn)。
聲明:
“鉬合金濺射靶材的制備工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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