一種用于合成三氯
硅烷的流化床反應(yīng)器,其包含反應(yīng)器、旋風(fēng)分離器、旁通線路、旁通閥以及分離器。反應(yīng)器具有內(nèi)部空間使冶金級(jí)硅與進(jìn)料氣體在其中進(jìn)行反應(yīng),經(jīng)由氫氯化反應(yīng)以及直接氯化反應(yīng)而產(chǎn)生三氯硅烷氣體。旋風(fēng)分離器用于收集自冶金級(jí)硅微?;⒃诜磻?yīng)器的內(nèi)部空間增加的微細(xì)顆粒。旁通線路連接至反應(yīng)器,用于將微細(xì)顆粒排出到反應(yīng)器的外部。旁通閥設(shè)置于旁通線路中。分離器連接至旁通閥用于將微細(xì)顆粒自反應(yīng)器排出的排出氣體分離與處理。
聲明:
“用于合成三氯硅烷的流化床反應(yīng)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)