本發(fā)明涉及
粉末冶金技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種高純釕濺射靶材的制備方法,主要包括破碎、球磨、裝模、單向熱壓成型等步驟,裝模過程中,采用3種不同粒度級別的粉料相互填充,最后燒結(jié)成型。本發(fā)明采用粉末冶金方法,可在低于材料熔點(diǎn)的溫度下制備靶材,不僅大大降低了設(shè)備的操作難度,也可有效控制制備過程中雜質(zhì)的引入,還可通過控制原料高純釕粉體的粒度和燒結(jié)工藝制度來實(shí)現(xiàn)靶材組織精細(xì)度的可控制備,從而在提高釕靶材產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性的同時(shí)大大降低生產(chǎn)成本,能夠得到顯微組織均勻可控的高性能低成本高純釕靶材。
聲明:
“高純釕濺射靶材的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)